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簡要描述：元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機水冷機組定時保養(yǎng)知識須知
產(chǎn)品型號：AES-4535廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-01-13訪 問 量：1645| 品牌 | LNEYA/無錫冠亞 | 冷卻方式 | 風冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 儀器種類 | 一體式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風機采用德國EBM軸流風機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標準顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機水冷機組定時保養(yǎng)知識須知
光刻機水冷機組定時保養(yǎng)知識須知
掌握調(diào)整蝕刻機冷卻循環(huán)裝置運行功率的方法，企業(yè)運行滿足需求的前提下，控制蝕刻機冷卻循環(huán)裝置的運行功率?？刂莆g刻機冷卻循環(huán)裝置處于低效率運行狀態(tài)，能夠減少設(shè)備消耗的數(shù)量。
一、用電環(huán)境要好
想要降低蝕刻機冷卻循環(huán)裝置電量，需要為蝕刻機冷卻循環(huán)裝置提供優(yōu)良的用電環(huán)境。例如用電環(huán)境的電壓比較低，蝕刻機冷卻循環(huán)裝置設(shè)備為保持穩(wěn)定的運行效率，必然加大電能的消耗。
二、設(shè)備的運作要提前計劃好
加入要維護蝕刻機冷卻循環(huán)裝置的和系統(tǒng)的穩(wěn)定，那么要以前做好設(shè)備的運作計劃，不論什么設(shè)備都要有提前的計劃，如果沒有會使機器滿負荷運載，這就會影響到蝕刻機冷卻循環(huán)裝置運行的。
三、要定期的保養(yǎng)
對蝕刻機冷卻循環(huán)裝置進行定期的維護可以保證蝕刻機冷卻循環(huán)裝置的壽命的煙瘴，不論是什么設(shè)備只要維護好了，那么設(shè)備的效能也會相應(yīng)的會減少的慢。
四、四周環(huán)境的影響
現(xiàn)在的環(huán)境對機器的影響還是比較大的，好的環(huán)境會提供機器的效能，相反則會降低機器的效能，所以好的環(huán)境對機器是有一定的影響的。
五、冷凝器的溫度
冷凝溫度的降低會是冷卻效果更好，因為在開始使用的時候，冷卻塔時會有一定的裕量，所以需要加大原有的冷卻塔水，讓冷卻水的效能更好。
六、配置可調(diào)節(jié)線圈
蝕刻機冷卻循環(huán)裝置在運行的時候，如果運行時間較長，能源消耗非常多?？梢詾槲g刻機冷卻循環(huán)裝置安裝調(diào)節(jié)線圈，根據(jù)環(huán)境溫度調(diào)整適合的運行功率。
